O trifluoreto de fósforo (PF₃) é composto de:
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um átomo de fósforo (p) :Este é o átomo central da molécula.
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Três átomos de flúor (f) :Esses átomos são ligados ao átomo de fósforo.
A molécula possui uma forma piramidal trigonal, com o átomo de fósforo no ápice e os três átomos de flúor formando a base da pirâmide.