A molécula de SiF4 tem forma tetraédrica. Isso ocorre porque o átomo de silício possui quatro elétrons de valência e cada um desses elétrons é compartilhado com um átomo de flúor. Os quatro átomos de flúor estão dispostos em torno do átomo de silício numa forma tetraédrica, com cada átomo de flúor ocupando um dos quatro vértices de um tetraedro.