O primeiro microscópio eletrônico foi construído por Ernst Ruska e max knoll em 1931 na Universidade Técnica de Berlim .

Enquanto os dois cientistas contribuíram significativamente, Ernst Ruska é geralmente creditado como o inventor principal. Ele recebeu o Prêmio Nobel de Física em 1986 por seu trabalho na Electics Optics e por seu design do primeiro microscópio eletrônico.