Danos do laser na sílica fundida, particularmente os danos do laser ultravioleta, ainda é um problema chave que limita o desenvolvimento de sistemas de laser de alta potência. O método tradicional de processamento da sílica fundida passa pelos processos de retificação e polimento químico-mecânico (CMP). Este método é demorado para alcançar uma superfície ultra-lisa, e é fácil de causar defeitos superficiais e subterrâneos, resultando em uma redução significativa no limite de danos à superfície da sílica fundida.

Recentemente, uma equipe de pesquisa do Instituto de Óptica e Mecânica Fina de Xangai da Academia Chinesa de Ciências combinou corrosão química e CO ₂ polimento a laser para processar a sílica fundida moída. O ataque químico foi usado para abrir os defeitos da subsuperfície da sílica fundida moída. Subseqüentemente, CO ₂ O polimento a laser foi aplicado para reduzir a aspereza da superfície.

Este processo combinado não só pode obter de forma eficiente uma superfície superlisa com uma baixa rugosidade superficial, mas também pode melhorar a resistência a danos da sílica fundida. Este trabalho foi publicado no Cartas de Óptica .

Por meio da morfologia do dano e uma análise de defeito, o processo combinado foi mostrado para evitar a introdução de defeitos de superfície e subsuperfície, incluindo defeitos destrutivos, defeitos de estrutura química, e elementos de impureza mental fotoativos, e obter sílica fundida com menor densidade de defeito superficial, obtendo assim melhor resistência a danos.