Aqui está a ordem de desenvolvimento dos modelos atômicos que você listou, desde mais cedo até mais recente:

1. Modelo de esfera sólida: Proposta por John Dalton no início de 1800, esse modelo descreveu átomos como pequenas esferas indivisíveis.
2. Modelo Planetário: Desenvolvido por Ernest Rutherford em 1911, este modelo retratou o átomo como um núcleo carregado positivamente com elétrons carregados negativamente orbitando em torno dele como planetas ao redor do sol.
3. Modelo mecânico quântico: Esse modelo, desenvolvido na década de 1920 por físicos como Erwin Schrödinger e Werner Heisenberg, é a descrição mais precisa do átomo que temos hoje. Ele usa equações matemáticas complexas para descrever a probabilidade de encontrar elétrons em certas regiões do espaço, em vez de definir órbitas específicas.