Os primeiros microscópios eletrônicos foram desenvolvidos nos anos 1930 .

* 1931: Ernst Ruska e Max Knoll, trabalhando na Universidade de Berlim, construíram o primeiro microscópio eletrônico.
* 1933: Ruska construiu o primeiro microscópio eletrônico capaz de resolver objetos menores que o comprimento de onda da luz visível.
* 1939: O primeiro microscópio eletrônico comercial foi construído.

O desenvolvimento do microscópio eletrônico foi um grande avanço na microscopia, permitindo que os cientistas vejam objetos em uma resolução muito maior do que com microscópios leves.