Mecanismo e versatilidade de filmes SU8 dobráveis. a) Bicamada SU8 auto-dobrável, onde a camada inferior do SU8 é totalmente reticulada e a camada superior do SU8 é parcialmente reticulada. O filme de bicamada SU8 dobra para cima na troca de solvente entre a acetona e a água. b) SU8 auto-dobrável com baixa densidade de reticulação de gradiente de dose de UV em todo o filme SU8 único. O filme SU8 se dobra para baixo na troca de solvente entre a acetona e a água. As espessuras totais dos feixes de bicamada SU8 eram, c) 20 μm, e d) 10 μm, e UVr =0,5. Dobramento controlado de estrelas SU8 de bicamada, e) UVr =0,8, a espessura era de 10 μm. f) UVr =0,5, a espessura era de 10 μm. g) UVr =0,5, a espessura era de 5 μm. h) fitas SU8 dobradas em i) hélices, e j) uma estrela SU8 dobrada em k) uma pirâmide quadrada usando o método do gradiente. Barras de escala são, c – g) 500 μm, h, i) 800 μm, e j, k) 300 μm. Crédito:Sistemas Inteligentes Avançados, doi:10.1002 / aisy.202000195
Sensível a estímulos, auto-dobrável, materiais em camadas bidimensionais (2-D) têm funções interessantes para eletrônicos flexíveis, vestuário, biossensores, e aplicações fotônicas. Contudo, limites com escalabilidade e falta de ferramentas de design podem impedir a alta integração e sua função confiável. Em um novo relatório agora publicado em Sistemas Inteligentes Avançados , Qi Huang, e uma equipe de cientistas em engenharia química e biomolecular e engenharia elétrica e de computação na Universidade Johns Hopkins, NÓS., propôs uma estratégia de produção em massa para criar estruturas autodobráveis reversíveis à base de grafeno monocamada. O material pode ser utilizado em sistemas microfluídicos e micromecânicos. Como prova de conceito, eles alcançaram dispositivos complexos e funcionais na forma de anéis, poliedros, flores e pássaros de origami. Em seguida, eles integraram eletrodos de ouro aos construtos para melhorar sua sensibilidade de detecção. Os experimentos sugerem uma estrutura abrangente para projetar e fabricar racionalmente, escalonável e complexo, 3-D, dispositivos ópticos e eletrônicos auto-dobráveis dobrando grafeno monocamada 2-D.
Desenvolvimento de microestruturas 3-D a partir de precursores 2-D
O desenvolvimento de microestruturas integradas 3-D em escala de wafer, Os precursores 2-D podem ser úteis em uma variedade de campos, incluindo óptica, eletrônicos, robótica e engenharia biomédica. Contudo, ainda é difícil realizar dispositivos híbridos baseados em material em camadas em escala de wafer ou em camadas 2-D reversíveis e independentes. Nesse trabalho, Huang et al. investigou a mecânica de dobramento de SU8 diferencialmente reticulado - ou seja, um ultravioleta à base de epóxi (UV) reticulável, fotoresiste negativo com base em uma resina comercial, e a interação da luz com microestruturas 3-D de grafeno-ouro (Au) -SU8 flexíveis. A equipe usou experimentos e simulações para apresentar várias novas ideias e demonstrar as microestruturas de grafeno SU8 auto-dobráveis. Eles variaram a extensão da reticulação SU8 ajustando a dose de UV para desenvolver uma modelo de granulação grossa que englobava o efeito da luz ultravioleta para a mecânica do material e mudanças de volume. Em seguida, eles usaram a abordagem para fornecer exemplos de formas 3-D, incluindo pássaros de origami. O método também incluiu abordagens computacionais de integração multicamadas de muito grande escala (VLSI). O método permitiu conexões simples com eletrodos e outros eletrônicos, módulos ópticos ou microfluídicos. Os estudos exibiram dispositivos funcionais híbridos de grafeno 3-D adequados para robótica, wearables e fotônica.
Framework de projeto de mecânica para microestruturas auto-dobráveis. a) Gráfico do módulo de elasticidade (E) versus intensidade de exposição (I0) para SU8. Os pontos individuais são valores medidos e a linha reta indica um ajuste teórico para esses pontos e o valor do módulo na exposição limite da folha de dados SU8. b) Um gráfico do ROC médio para uma viga SU8 retangular de bicamada com dimensões 250 × 500 μm, em função da espessura (t) e da intensidade de exposição (I0) da camada superior. O vermelho indica a camada SU8 inferior (totalmente exposta a UV com 240 mJ cm-2), e a camada azul é a camada SU8 superior (exposta a UV com I0). c) Um gráfico do ROC para uma viga retangular reticulada de gradiente SU8 com dimensões 250 × 500 μm, em função da intensidade de exposição (I0) da camada superior (cor em vermelho com energia de I0) e a intensidade do gradiente diminuindo ao longo da espessura dada por (
Projetar racionalmente estruturas 3-D auto dobráveis SU8
Huang et al. testou dois métodos para permitir o dobramento reversível de filmes SU8 diferencialmente reticulados, incluindo métodos de bicamada e gradiente. Para ambas as versões, eles primeiro depositaram uma camada sacrificial de cobre evaporado termicamente de 50 nm de espessura em um wafer ou lâmina de vidro. Durante o método de bicamada, eles padronizaram os filmes de bicamada SU8 com uma camada inferior totalmente reticulada e uma camada superior parcialmente reticulada usando fotolitografia para facilitar a curvatura para longe do wafer. Eles então revestiram as camadas de SU8 sobre o material e condicionaram os padrões de bicamada, imergindo-os em acetona para criar precursores autodobráveis. As estruturas condicionadas podem se dobrar e se desdobrar reversivelmente na transferência do solvente da acetona para a água. Variando a espessura do padrão, eles montaram vigas curvas com raios diferentes e uma variedade de formas 3-D. A equipe também variou a dose da taxa de exposição aos raios ultravioleta para aumentar a extensão da dobra do padrão. Eles observaram como diferentes ângulos de dobra poderiam ser alcançados variando a espessura e a extensão da reticulação. O trabalho forneceu os critérios de projeto necessários para obter curvas e geometrias controladas para as microestruturas SU8. As simulações foram reproduções precisas das formas de dobramento experimentais.
Convertendo grafeno em formas 3-D com base nas estruturas auto-dobráveis SU8
As estruturas auto-dobráveis podem suportar de maneira importante a transformação de grafeno de monocamada plana em formas 3-D. Esse processo de integração incluiu algumas etapas principais. Inicialmente, a equipe transferiu o grafeno monocamada cultivado usando deposição química de vapor de um wafer revestido de cobre para o substrato de silício revestido de cobre sacrificial usando o método de polimetilmetacrilato (PMMA). Então, usando espectros Raman, Huang et al. observou os picos correspondentes ao grafeno monocamada depositado no SU8 como esperado. Depois disso, eles padronizaram o grafeno por meio de fotolitografia e gravação de plasma, e autorrolamento realizado de estruturas de grafeno-SU8 com rolagem / desenrolamento reversível em água e acetona. Este processo de integração de grafeno-SU8 autorrolante ocorreu em uma escala de wafer, facilitando a inclusão de outros elementos, incluindo linhas ou padrões dourados, para formar dispositivos eletrônicos ou ópticos funcionais.
Ilustração esquemática do processo de fabricação para vigas de grafeno-Au-SU8 autodobráveis e autônomas em 3D. a) Fluxo do processo de fabricação. b) Processo de autodobramento e desdobramento na transferência de solvente entre água e acetona. c) Imagem de um feixe plano de grafeno-Au-SU8, ed) um rolo de grafeno-Au-SU8 auto-dobrado. e) Imagem do microscópio eletrônico de varredura (MEV) de visão lateral do feixe auto-dobrado. Barras de escala são c, d) 800 μm, e e) 200 μm. Crédito:Sistemas Inteligentes Avançados, doi:10.1002 / aisy.202000195
Desenvolvendo materiais inteligentes ultrafinos que mudam de forma.
Os cientistas de materiais normalmente estudam o grafeno para suas aplicações eletrônicas e ópticas com base em características físicas únicas, alta resistência mecânica, e estabilidade do material. Devido às suas propriedades características da optoeletrônica, a mobilidade de portadores de alta carga do grafeno em temperaturas ambientes revelou aplicações potenciais em dispositivos de alta frequência e alta velocidade. No entanto, a absorção de luz e a interação luz-matéria do grafeno são baixas para dispositivos baseados em grafeno planar atomicamente finos. Huang et al. portanto, alavancou a transparência ótica do SU8 para desenvolver dispositivos óticos 3-D auto-dobráveis baseados em grafeno para formar dispositivos óticos flexíveis e vestíveis. Eles criaram estruturas de grafeno 3-D multi-laminados para superar os limites de baixa capacidade de absorção do grafeno de camada única. Os cientistas então usaram um fotodetector de grafeno-ouro-SU8 plano e testaram o substrato iluminando cada eletrodo de ouro com um laser de 488 nm. A fotovoltagem era maior quando a iluminação a laser incidia diretamente no lado do grafeno em comparação com o lado SU8. A iluminação reduzida resultou da absorção de luz no filme SU8. A fotovoltagem gerada no trabalho resultou principalmente da área de sobreposição de ouro e grafeno.
Formação de estruturas e fotodetectores 3-D grapahene-SU8 integrados com chip
Como prova de conceito, Huang et al. desenvolveu designs complexos inspirados em origami e estruturas integradas a chips. Para montá-los, eles padronizaram a camada sacrificial de cobre e grafeno e controlaram a exposição UV em regiões específicas para dobrar seletivamente a microestrutura SU8, enquanto outras partes permaneceram fixas e planas. Essas estruturas complexas serão importantes para a robótica leve com uma interface de grafeno-ouro para aplicações de coleta de energia óptica remota. Os projetos montados no chip também são importantes em optoeletrônica, qual Huang et al. ilustrado usando fotodetectores de ângulo resolvido com uma matriz de fotodetectores de grafeno SU8 dobrável. Usando iluminação leve, eles mostraram fotorrespostas diferentes com base no ângulo do laser e na arquitetura do material. A equipe também usou simulações para determinar a resposta resolvida em ângulo.
Fotorresposta de feixes auto-dobrados de grafeno-Au-SU8 independentes. a) Um gráfico da fotovoltagem conforme o ponto de laser foi digitalizado na direção lateral do feixe plano de grafeno-Au-SU8, e a linha sólida é um guia para os olhos. Fotovoltagem de circuito aberto medida na b) plana, ec) viga auto-dobrada Au-grafeno-SU8, quando a potência do laser variou de 1 a 5 mW irradiado em um eletrodo com diferentes tempos de exposição. d) Comparação da fotorresposta entre o grafeno auto-enrolado 3D – Au – SU8 e o feixe plano de grafeno – Au – SU8. Crédito:Sistemas Inteligentes Avançados, doi:10.1002 / aisy.202000195
Panorama
Desta maneira, Qi Huang e colegas desenvolveram um processo altamente paralelo para montar microestruturas de grafeno flexível 3-D. O método tem três vantagens principais a oferecer,
Grafeno integrado por chip – Au – SU8 Microestruturas auto-dobradas em 3D e fotodetecção. a) Esquema do fluxo do processo. Imagens ópticas e SEM da auto-dobragem de um pássaro de origami grafeno-Au-SU8 de, b) plano em c) sua forma 3D. Imagens ópticas e SEM da auto-dobragem de uma flor de grafeno-Au-SU8 de, d) plano em e) sua forma 3D. f) Esquema de matrizes de grafeno-Au-SU8 auto-dobradas 3D no chip. g) Imagem SEM da matriz auto-dobrada de grafeno-Au-SU8. h) Imagem ótica da configuração de medição. i) Esquema da medição da fotorresposta dependente do ângulo para o fotodetector 3D auto-dobrado de grafeno integrado ao chip-Au-SU8. j) Resposta de fotovoltagem dependente de ângulo de um único fotodetector 3D auto-dobrado de grafeno – Au – SU8. (0 °, 30 °, e 60 °). k) Simulação COMSOL da variação da absorção de luz em função dos ângulos incidentes. As barras de escala são b – e) 500 μm e g) 200 μm. Crédito:Sistemas Inteligentes Avançados, doi:10.1002 / aisy.202000195
O fotorresiste opticamente transparente pode ser revestido por rotação e mantido com relativa flexibilidade. As estruturas eram estáveis no ar e podem formar melhores alternativas leves aos módulos baseados em silício para integração em robôs voadores e nadadores. A base primária do mecanismo de auto-dobramento dependia do intumescimento diferencial acionado por solvente químico para facilitar os movimentos de dobramento / desdobramento. A equipe espera usar esta abordagem para criar uma gama de microestruturas 3-D para vestíveis, robôs em movimento, em biossensores e em dispositivos de captação de energia.
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