p O Micro-nano Optics and Technology Research Group liderado pelo Prof. Lu Yonghua e Prof. Wang Pei da Universidade de Ciência e Tecnologia da China (USTC) da Academia Chinesa de Ciências (CAS) realizou medições de deslocamento nanométrico através da interação entre a iluminação campo óptico e as antenas ópticas. Este estudo foi publicado em Cartas de revisão física . p A metrologia óptica é de particular importância porque permite medições de distância ou deslocamento de uma forma de alta precisão sem contato. Contudo, apesar da ampla aplicação na medição de deslocamento longitudinal de métodos interferométricos, como radar a laser, alcance do laser e medição de vibração pequena, O deslocamento lateral perpendicular à direção do feixe é difícil de detectar por meio de métodos convencionais.

p Os pesquisadores apresentaram uma nova técnica baseada na excitação direcional de polaritons de plasmon de superfície (SPPs).

p Eles primeiro excitaram SPPs assimétricos com um par de antenas de slot óptico sob a iluminação de um Hermite-Gaussion (HG) (1, 0) luz de modo. Então, detectando o vazamento de SPP no plano focal posterior de uma objetiva imersa em óleo, eles mediram com sensibilidade o deslocamento transversal.

p Ao contrário da estratégia anterior para recuperar os sinais de espalhamento livre, que permanece um desafio, mesmo quando se emprega uma técnica de medição fraca, o padrão de vazamento SPP é espacialmente separado do espalhamento direto das antenas de slot, e, portanto, pode ser utilizado para monitorar deslocamentos no plano focal posterior.

p A resolução de seu sistema atinge o nível de sub-onda (~ 0,3 nm). Contudo, a resolução extrema pode ser reduzida ao nível de angstrom. É potencialmente aplicável em microscopia de superresolução, litografia semicondutora, e calibração de nanodispositivos.